دستگاه برش لیزری دقیق برای مواد سخت و شکننده عمدتاً برای ریزماشین کاری لیزری مواد با سختی بالا و شکننده بالا مانند سرامیک، یاقوت کبود، الماس، فولاد کلسیم، فولاد تنگستن، نیترید آلومینیوم، نیترید سیلیکون، آرسنید گالیم و سایر مواد استفاده می شود.
دستگاه شکل دهی لیزری میکرو سوراخ برای ابزار دقیق مسطح عمدتاً برای ریزماشین کاری لیزری ابزار دقیق مسطح و منحنی مانند آلیاژ سخت، فولاد ضد زنگ، آلیاژ منیزیم-آلومینیوم و غیره استفاده می شود.
دستگاه برش لیزری ابزار دقیق فولاد ضد زنگ عمدتاً برای ریزماشین کاری لیزری هواپیماهای فولادی ضد زنگ و فولاد آلیاژی سخت و ابزار سطح منحنی استفاده می شود.